[发明专利]检测装置在审
| 申请号： | 201780084710.9 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN110226075A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 堀淳二;阪田恒次;桥口拓弥;望月敬太;渡边清高;笹井浩之 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;D01H13/32;G01B21/02;G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 马建军;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第1相似度和第2相似度为元素的第1相似度向量的偏角作为第1相位。相位计算部(12)计算以由相似度计算部(11)计算出的第3相似度和第4相似度为元素的第2相似度向量的偏角作为第2相位。周期计算部(13)根据由相位计算部(12)计算出的第1相位和第2相位，计算长条体上形成的图案的周期。异常检测部(14)根据由周期计算部(13)计算出的周期检测长条体的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 相似度 相位计算 相似度计算 相似度向量 周期计算 长条体 偏角 异常检测部 检测装置 周期检测 图案 | ||
【主权项】：
1.一种检测装置，该检测装置具有：数据取得单元，其取得表面具有周期性图案的长条体的第1表面数据和第2表面数据；存储单元，其存储第1基准数据和第2基准数据；相似度计算单元，其计算由所述数据取得单元取得的第1表面数据与所述第1基准数据的第1相似度、由所述数据取得单元取得的第1表面数据与所述第2基准数据的第2相似度、由所述数据取得单元取得的第2表面数据与所述第1基准数据的第3相似度和由所述数据取得单元取得的第2表面数据与所述第2基准数据的第4相似度；相位计算单元，其计算以由所述相似度计算单元计算出的第1相似度和第2相似度为元素的第1相似度向量的偏角作为第1相位，计算以由所述相似度计算单元计算出的第3相似度和第4相似度为元素的第2相似度向量的偏角作为第2相位；周期计算单元，其根据由所述相位计算单元计算出的第1相位和第2相位，计算所述长条体上形成的图案的周期；以及第1异常检测单元，其根据由所述周期计算单元计算出的周期，检测所述长条体的异常。
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