[发明专利]导电性水溶液的制造装置和导电性水溶液的制造方法

摘要

导电性水溶液制造装置(1)具有在供给作为原料水的超纯水(W)的主配管(11)的中途上设置的离子交换装置(2)、在该主配管(11)的离子交换装置(2)的下游侧合流的供给管(12)、以及导电性赋予物质供给装置(3)。对于离子交换装置(2)中填充的离子交换体而言，例如，在导电性赋予物质是氨的情况下，上述离子是阳离子，也就是说，是铵离子(NH₄⁺)，因此，优选填充阳离子交换树脂。此外，在导电性赋予物质是二氧化碳的情况下，上述离子是阴离子，也就是说，是碳酸氢离子(HCO₃^‑)或碳酸离子(CO₃^2‑)，因此，优选填充阴离子交换树脂。所述导电性水溶液制造装置能够以稳定的浓度制造导电性水溶液，对于浓度的变更追随性优异。

主权项

1.一种导电性水溶液制造装置，具备：原料水能够流通的方式构成的离子交换装置；以及向通过了所述离子交换装置的原料水中添加导电性赋予物质而生成导电性水溶液的导电性赋予物质供给装置；在通过了所述离子交换装置的原料水中溶解所述导电性赋予物质而生成的、对该原料水赋予导电性的离子是阳离子的情况下，向所述离子交换装置中填充阳离子交换体，在所述离子是阴离子的情况下，向所述离子交换装置中填充阴离子交换体。