[发明专利]产生用于控制或监控生产过程的所预测的数据在审
| 申请号： | 201780084076.9 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110192153A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | A·伊普玛;D·格科鲁;G·齐萝扬尼斯;托马斯·利奥·玛丽亚·胡根鲍姆;R·J·F·范哈恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明产生用于控制或监控生产过程以改进感兴趣的参数的所预测的数据。获得与所述生产过程(504)的操作相关联的情境数据(502)。对所述生产过程(504)的产品(506)执行量测/测试(508)，由此获得性能数据(510)。提供情境对性能的模型以基于用性能数据对所述情境数据(502)进行标记来产生所预测的性能数据(526)。这为半监督学习的示例。该情境对性能的模型包括执行半监督标记的学习机器(522)。使用与该情境数据和/或该性能数据的品质相关的预测信息来修改该情境对性能的模型。预测信息可以包括相关性信息，该相关性信息与该所获得的情境数据和/或该所获得的性能数据与该感兴趣的参数的相关性相关。该预测信息可以包括与所述所预测的性能数据的不确定性相关的模型不确定性信息。 | ||
| 搜索关键词： | 性能数据 情境数据 生产过程 预测信息 预测 不确定性 半监督学习 学习机器 半监督 监控 量测 测试 关联 改进 | ||
【主权项】：
1.一种产生用于控制或监控生产过程以改进感兴趣的参数的所预测的数据的方法，所述方法包括以下步骤：获得与所述生产过程的操作相关联的情境数据；获得与所述生产过程的产品的性能相关联的性能数据；提供情境对性能的模型以基于用性能数据对所述情境数据进行标记来产生所预测的性能数据；和使用与所述情境数据的品质相关的预测信息来修改所述情境对性能的模型。
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