[发明专利]脆性材料基板的端部精加工装置和脆性材料基板的端部精加工方法在审
申请号: | 201780083414.7 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN110225893A | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 大串修己;田中秀幸 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | C03B29/08 | 分类号: | C03B29/08;B24B9/10;C03C23/00 |
代理公司: | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人: | 杨黎峰;石宝忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 作为脆性材料基板的玻璃基板(1)的端部精加工装置(90)具备第一加热部(10)及第二加热部(20)。第一加热部(10)为了将玻璃基板(1)的端部熔融、使凹凸平滑化而加热该端部。第二加热部(20)用比第一加热部(10)产生的加热温度低的温度对通过第一加热部(10)而被实施平滑化的位置附近的玻璃基板(1)的板面进行加热。 | ||
搜索关键词: | 加热部 脆性材料基板 玻璃基板 加热 精加工装置 平滑化 精加工 板面 熔融 | ||
【主权项】:
1.一种脆性材料基板的端部精加工装置,其特征在于,具备:第一加热部,其为了将脆性材料基板的端部熔融、使凹凸平滑化而加热该端部;和第二加热部,其用比所述第一加热部产生的加热温度低的温度对通过所述第一加热部而被实施平滑化的位置附近的所述脆性材料基板的板面进行加热。
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