[发明专利]在制造过程中引导过程模型和检查的方法有效
| 申请号： | 201780081265.0 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN110121681B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 曹宇;邹毅;林晨希 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于诸如减少校准时间、改进模型的精确度以及改进整个制造过程的各种目的的方法，其中通过两个不同的过程模型模拟图像的特性的偏差或通过过程模型模拟且通过量测工具测量所述特性的偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 过程 引导 模型 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：获得第一测量特性，所述第一测量特性通过在一组处理条件中的每一个下或在一组部位中的每一个处测量在所述衬底上物理地产生的图像的第一特性来获得；通过使用第一过程模型在所述一组处理条件中的每一个下或在所述一组部位中的每一个处模拟所述第一特性来获得第一模拟特性；针对于所述一组部位中的每一个或所述一组处理条件中的每一个确定所述第一测量特性与所述第一模拟特性之间的偏差；基于所述偏差从所述一组部位选择部位的子组或从所述一组处理条件选择处理条件的子组；和使用来自部位的所述子组或在处理条件的所述子组下的数据调整所述第一过程模型、使用所述数据来构造第二过程模型、使用所述数据来调整形成所述图像的过程的条件，和/或检查基于部位的所述子组或基于处理条件的所述子组来确定的所述衬底上的部位的一个群组处的缺陷。
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