[发明专利]中空多孔石英玻璃基底材料的制造方法有效
| 申请号： | 201780080125.1 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN110139837B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 角児太郎;桑原光 | 申请（专利权）人： | 信越石英株式会社;贺利氏石英玻璃有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B8/04 | 分类号： | C03B8/04;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种制造中空多孔石英玻璃基底材料的方法，和一种制造合成石英玻璃圆筒的方法，其中即使在以大的重量和高容积密度制造所述中空多孔石英玻璃基底材料(烟灰体)时，仍能保持目标取出的容易性并且稳定地进行目标取出，并且能够制造大的重量的烟灰体。所述制造中空多孔石英玻璃基底材料的方法包含：制备耐热衬底的步骤，所述耐热衬底具有圆柱状或圆筒状并且具有供沉积SiO |
||
| 搜索关键词： | 中空 多孔 石英玻璃 基底 材料 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种中空多孔石英玻璃预制件的制造方法，其特征在于，所述方法包括制备圆柱状或圆筒状耐热衬底的过程，在所述衬底上供沉积SiO2粒子的外表面的表面粗糙度的最大高度Rz低于9μm并且算术平均粗糙度Ra低于1μm；和通过旋转所述耐热衬底并使SiO2粒子沉积在所述耐热衬底的所述外表面上来形成细玻璃粒子沉积物的过程；以及通过从所述玻璃粒子沉积物中去除所述耐热衬底来制造中空多孔石英玻璃预制件的过程。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越石英株式会社;贺利氏石英玻璃有限两合公司，未经信越石英株式会社;贺利氏石英玻璃有限两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780080125.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
