[发明专利]用于延长镭射处理设备中的光学器件生命期的方法和系统有效

专利信息
申请号: 201780078945.7 申请日: 2017-12-28
公开(公告)号: CN110139727B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 派崔克·莱歇尔 申请(专利权)人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
主分类号: B23K26/08 分类号: B23K26/08;B23K26/04
代理公司: 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 代理人: 林柳岑;贺亮
地址: 美国俄勒冈州9722*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明揭示用于延长光学组件的生命期的方法及设备。沿着与扫描透镜相交的光束路径引导镭射能量光束,该镭射能量光束可透射穿过该扫描透镜。可使该光束路径在该扫描透镜的扫描区域内偏转,以用由该扫描透镜透射的该镭射能量处理工件。当处理工件时,该扫描区域可移位至该扫描透镜内的不同位置,例如,以延迟或避免镭射引发的损坏累积在该扫描透镜内。
搜索关键词: 用于 延长 镭射 处理 设备 中的 光学 器件 生命 方法 系统
【主权项】:
1.一种方法,其包含:产生镭射能量光束;沿着与扫描透镜相交的光束路径引导该镭射能量光束;使该镭射能量光束传播穿过该扫描透镜;使该光束路径在该扫描透镜的第一区域内偏转,以用传播穿过该扫描透镜的该镭射能量光束处理第一工件;及在使该光束路径在该扫描透镜的该第一区域内偏转之后,使该光束路径在该扫描透镜的第二区域内偏转,以用传播穿过该扫描透镜的该镭射能量光束处理第二工件。
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