[发明专利]异物除去装置和异物除去方法有效
| 申请号： | 201780078289.0 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN110087784B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 蒲原康司 | 申请（专利权）人： | 修谷鲁开发股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00;B08B11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 安然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使是薄膜状的片状体也能够稳定地除去异物的异物除去装置。异物除去装置包括具有喷出缝(112)的清洁头(10)，将从喷出缝(112)以规定的动作流速喷出的流体喷向片状体(W)的表面而从该片状体(W)的表面除去异物，该异物除去装置构成为具有：头部设置机构(20、30a、30b)，其在来自喷出缝(112)的流体的流速比所述动作流速小的状态下，将清洁头(10)设置在规定的动作位置处；以及旋转机构(21)，其在清洁头(10)被设置在所述动作位置后，在从喷出缝(112)使流体以所述动作流速喷出的状态下，维持清洁头(10)与片状体(W)的表面相对的状态，并同时使清洁头(10)与片状体(W)相对旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 除去 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种异物除去装置，其包括具有喷出流体的规定长度的喷出缝的清洁头，在使该清洁头与片状体相对移动的同时，将从所述喷出缝以规定的动作流速喷出的流体喷向所述片状体的表面而从该片状体的表面除去异物，该异物除去装置具有：头部设置机构，其在从所述喷出缝喷出的流体的流速比所述动作流速小的状态下，将所述清洁头设置在与所述片状体的表面相对的规定的动作位置处；以及旋转机构，其在所述清洁头被设置在所述动作位置后，在从所述喷出缝以所述动作流速喷出流体的状态下，维持使所述清洁头与所述片状体的表面相对的状态，同时使所述清洁头与所述片状体相对旋转。
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