[发明专利]包括具有可调节接触力的直探针的探针卡在审
| 申请号： | 201780078189.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110088633A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李在馥;黃德夏 | 申请（专利权）人： | TEPS有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王爱华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 根据本发明的探针卡，在插入直探针的状态下使第二板和针落下防止板相对于第一板在第一方向移动时，能够调节移动量，从而，能够调节直探针的弯曲程度(曲率)，结果，不变更针结构也可以调节针的接触力。从而，可以根据晶片类型(铜柱、WLCSP、铝垫)和特性对测试对象晶片适用最优化的探针的接触力。并且，由于能够使用简单结构的现有技术的直探针，因此可以降低针制造不良率和制造成本，且针插入工序和坏了的针的更换也变得容易。而且，可以减少针之间的间距，因此有利于制造细距探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 接触力 探针卡 晶片 曲率 落下防止板 测试对象 插入工序 方向移动 制造成本 不良率 第一板 可调节 移动量 针结构 最优化 铝垫 铜柱 制造 变更 | ||
【主权项】：
1.一种直探针卡，能够调节直探针的接触力，其特征在于，包括：第一板，具有供所述直探针插入的多个针孔，与测试对象相对设置；第二板，具有供所述直探针插入的多个针孔，以相对于所述第一板在第一方向能够相对移动的方式设置在所述第一板上；针落下防止板，具有供所述直探针插入的多个针孔，以相对于各个所述第一板和所述第二板在第一方向能够相对移动的方式设置在所述第一板与所述第二板之间；以及移动量调节工具，用于调节所述第一板、所述第二板及所述针落下防止板相互之间的在第一方向上的相对移动量。
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