[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法、电子器件的制造方法、及光酸产生剂有效
| 申请号： | 201780077182.4 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110088679B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 浅川大辅;后藤研由;小岛雅史;加藤启太;王惠瑜;崎田享平 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F220/26;C09K3/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;C07C309/12;C07C309/17;C07C309/19;C07C381/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、及光酸产生剂、以及使用这些的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)通过光化射线或放射线的照射而产生pKa为‑1.40以上的酸的光酸产生剂、及(B)具有含有酸分解性基的重复单元的树脂，通过具有上述酸分解性基的重复单元的Et h灵敏度为5.64以下的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，尤其在形成超微细的图案时，粗糙性能、曝光宽容度及焦点裕度非常优异。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 射线 放射 线性 树脂 组合 图案 形成 方法 电子器件 制造 产生 | ||
【主权项】：
1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有(A)通过光化射线或放射线的照射产生pKa为‑1.40以上的酸的光酸产生剂、及(B)具有含有酸分解性基的重复单元的树脂，其中所述具有酸分解性基的重复单元的Eth灵敏度为5.64以下。
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