[发明专利]用于运输带电粒子的运输装置

摘要

本发明涉及用于运输带电粒子的设备。所述设备包括：控制单元；以及运输装置，其具有被布置在运输通道周围的多个电极，其中所述运输通道包括被配置为接收所述运输装置所接收到的带电粒子的束形成区域。所述控制单元被配置为控制施加到所述电极的电压以在所述运输通道中生成运输电势，所述运输电势具有多个势阱，其中所述多个势阱被配置为移动从而沿所述运输通道以一个或多个束来运输带电粒子。其中所述控制单元被配置为控制施加到所述电极的电压以：在所述束形成区域中暂时性地生成聚集电势，使得所述运输装置所接收到的带电粒子被聚集在所述束形成区域中；然后在所述束形成区域中生成所述运输电势，使得在所述束形成区域中形成选择势阱，其中选择势阱接收由所述聚集电势在所述束形成区域中所聚集到的带电粒子形成的带电粒子束。

主权项

1.一种用于运输带电粒子的设备，所述设备包括：控制单元；以及运输装置，其具有被布置在运输通道周围的多个电极，其中所述运输通道包括被配置为接收所述运输装置所接收到的带电粒子的束形成区域，其中，所述控制单元被配置为控制施加到所述电极的电压以在所述运输通道中生成运输电势，所述运输电势具有多个势阱，其中所述多个势阱被配置为移动从而沿所述运输通道以一个或多个束来运输带电粒子；其中，所述控制单元被配置为控制施加到所述电极的电压以：在所述束形成区域中暂时性地生成聚集电势，使得所述运输装置所接收到的带电粒子被聚集在所述束形成区域中；然后在所述束形成区域中生成所述运输电势，使得在所述束形成区域中形成选择势阱，其中选择势阱接收由所述聚集电势在所述束形成区域中所聚集的带电粒子形成的带电粒子束。