[发明专利]玻璃基板的制造装置及制造方法有效
| 申请号： | 201780070959.4 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN109963820B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 山本好晴;中塚弘树;大野和宏 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;B65G49/06;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘影娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的玻璃基板(P)的制造装置(10)具备将玻璃基板(P)沿规定的方向(X1)输送的输送装置(11)和表面处理装置(12)。表面处理装置(12)具备：箱体(14)；在箱体(14)中的一个主表面(P1)侧开口的开口部(17)；以相对于开口部(17)能够拆卸的方式安装，且具有用于向一个主表面(P1)供给处理气体(Ga)的供气口(31)的一个或多个供气单元(18)。这里，供气单元(18)安装在开口部(17)中的沿着玻璃基板(P)的输送方向(X1)的多个位置处。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：输送装置，其将成为玻璃基板的板状玻璃沿规定的方向输送；以及表面处理装置，其向由所述输送装置输送的所述板状玻璃的一个主表面供给处理气体而实施规定的表面处理，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述表面处理装置具备：箱体；开口部，其在所述箱体中的所述一个主表面侧开口；以及一个或多个供气单元，一个或多个所述供气单元以相对于所述开口部能够拆卸的方式安装，且具有用于向所述一个主表面供给所述处理气体的供气口，所述供气单元能够安装在所述开口部中的沿着所述板状玻璃的输送方向的多个位置。
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