[发明专利]用于部件或器件的空气支承平台的设备、系统和方法

摘要

本公开提供一种用于可移动支承平台的装置、系统和方法，其允许通过使用机器人技术对部件或器件进行高度精细的对准和放置，特别是平面对准和放置。提供至少一个部件或器件相对于辅助参考平面的至少平面对准的装置、系统和方法可以至少包括：框架和定子组件，框架和定子组件的上部具有至少一个半球形接收界面；可移动组件，可移动组件在所述框架和定子组件内移动，并且通过至少多个弹簧与框架和定子组件连接地关联；半球形平台，半球形平台适于由所述半球形接收界面接收并且至少能够在半球形接收界面中进行旋转运动；所述半球形平台内的卡盘，卡盘能够相对于由所述半球形平台的最顶部提供的平面至少共面、后平面和前平面定位，其中所述卡盘能够接收所述部件或器件；以及至少两个夹持爪，至少两个夹持爪适于在夹持爪上部接收和保持所述部件或器件，其中所述两个夹持爪在夹持爪下部至少包括能够与运动止动件物理相互作用的斜坡。

主权项

1.一种对准系统，用于提供至少一个部件相对于辅助参考平面的至少平面对准，对准系统包括：框架和定子组件，框架和定子组件的上部具有至少一个半球形接收界面；可移动组件，可移动组件能够在所述框架和定子组件内移动，并且通过至少多个弹簧与所述框架和定子组件连接地相关联，可移动组件包括：浮动轭部分，浮动轭部分至少与触觉部分和多个线性运动止动件相关联，触觉部分与所述多个线性运动止动件物理地相互作用，所述触觉部分适于相对于第二参考平面评估所述部件的最顶部分的平面；半球形平台，半球形平台适于通过所述半球形接收界面接收并且至少能够在半球形接收界面中进行旋转运动；卡盘，卡盘位于所述半球形平台内，卡盘能够相对于由所述半球形平台的最顶部提供的平面至少共面、后平面和前平面定位，其中所述卡盘能够接收所述部件；和至少两个夹持爪，至少两个夹持爪适于在夹持爪上部接收和保持所述部件，其中所述两个夹持爪至少包括位于夹持爪下部的斜坡，斜坡能够与运动止动件物理相互作用；其中所述可移动组件允许将由所述部件的最顶部提供的平面放置在相对于所述第二参考平面的合适位置，以便允许处理所述部件以及提供所述第二参考平面的第二电子元件。