[发明专利]微波输出装置及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201780063567.5 | 申请日： | 2017-10-04 |
| 公开（公告）号： | CN109952816B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 金子和史;河田祐纪;村井浩一;牛窪隆之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;东京计器株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一实施方式的微波输出装置中，从方向性耦合器输出自微波产生部传播至输出部的行进波的一部分。在第1测定部中，利用二极管检波产生与行进波的一部分的功率对应的模拟信号，将该模拟信号转换为数字值。并且，选择与对微波输出装置中被指定的微波的设定频率及设定功率建立对应的一个以上的校正系数。通过将所选择的一个以上的校正系数与数字值相乘来确定测定值。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 输出 装置 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
1.一种微波输出装置，其具备：微波产生部，产生具有分别与自控制器指示的设定频率及设定功率对应的频率及功率的微波；输出部，输出自所述微波产生部传播的微波；第1方向性耦合器，输出自所述微波产生部传播至所述输出部的行进波的一部分；及第1测定部，基于自所述第1方向性耦合器输出的所述行进波的所述一部分，确定表示所述输出部中的所述行进波的功率的第1测定值，所述第1测定部具有：第1检波部，使用二极管检波，产生与所述行进波的所述一部分的功率对应的模拟信号；第1A/D转换器，将通过所述第1检波部产生的模拟信号转换为数字值；及第1处理部，构成为自为了将由所述第1A/D转换器产生的数字值校正为所述输出部中的行进波的功率而预先设定的多个第1校正系数中，选择与由所述控制器指示的所述设定频率及所述设定功率建立对应的一个以上的第1校正系数，且将所选择的该一个以上的第1校正系数与由所述第1A/D转换器产生的所述数字值相乘，由此确定所述第1测定值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社;东京计器株式会社，未经东京毅力科创株式会社;东京计器株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780063567.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
