[发明专利]确定靶在极紫外光源中的移动性质有效
申请号: | 201780056385.5 | 申请日: | 2017-09-07 |
公开(公告)号: | CN109716078B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | V·塞尼克里姆延;C·弗南德茨-埃斯帕萨;J·Q·奥德勒 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01P13/00;G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;董典红 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了一种用于测量当前靶在其沿着轨迹朝向靶空间行进时的移动性质的方法。该方法包括:在当前靶进入靶空间之前检测由于当前靶与多个诊断探针中的每一个诊断探针之间的相互作用而产生的光的多个二维表示;基于对检测到的光的多个二维表示的分析来确定当前靶的一个或多个移动性质,该确定在当前靶进入靶空间之前完成;以及,如果所确定的当前靶的一个或多个移动性质在可接受范围之外,则调节被引导到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。 | ||
搜索关键词: | 确定 紫外 光源 中的 移动 性质 | ||
【主权项】:
1.一种测量当前靶在其沿着轨迹朝向靶空间行进时的移动性质的方法,所述方法包括:在所述当前靶进入所述靶空间之前检测由于所述当前靶与多个诊断探针中的每一个诊断探针之间的相互作用而产生的光的多个二维表示;基于对检测到的光的多个二维表示的分析来确定所述当前靶的一个或多个移动性质,所述确定在所述当前靶进入所述靶空间之前完成;以及如果所确定的所述当前靶的一个或多个移动性质在可接受范围之外,则调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
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