[发明专利]吸光光度计和使用该吸光光度计的半导体制造装置在审
| 申请号： | 201780056159.7 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109690292A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 西里洋;南雅和;坂口有平 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;H01L21/31;G01N21/61 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 杨敏;金玉兰 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 得到一种吸光光度计，该吸光光度计在检测高温的样品气体的情况下，即使不延长从光源部至光接收部为止的距离，也能够保护光源部和/或光接收部免受样品气体的热的侵害，能够保持高检测精度。其具备：具有容纳样品气体的容纳空间(11)的样品容纳部(10)、将光照射到容纳空间(11)内的光源部(20)、接收从容纳空间(11)内射出的光的光接收部(30)、与样品容纳部(10)的光源部(20)侧邻接而设置的第一隔热部(40a)和与样品容纳部(10)的光接收部(30)侧邻接而设置的第二隔热部(40b)、以及与第一隔热部(40a)邻接而设置的第一冷却部(50a)和与第二隔热部(40b)邻接而设置的第二冷却部(50b)。 | ||
| 搜索关键词： | 吸光光度计 光接收部 邻接 隔热部 光源部 容纳空间 样品气体 样品容纳 冷却部 半导体制造装置 光照射 检测 射出 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种吸光光度计，具备：样品容纳部，具有以隔着容纳样品气体的容纳空间而对置的方式安装的一对透光窗；光源部，经由所述一侧的透光窗而将光照射到所述容纳空间内；以及光接收部，接收穿过所述容纳空间内而从所述另一侧的透光窗射出的光，其特征在于，所述吸光光度计还具备：隔热部，设置于所述样品容纳部与所述光源部之间，或者设置于所述样品容纳部与所述光接收部之间，或者设置于所述样品容纳部与所述光源部之间以及所述样品容纳部与所述光接收部之间；以及冷却部，与所述至少一个隔热部同样地设置于所述样品容纳部与所述光源部之间或者所述样品容纳部与所述光接收部之间，所述隔热部相对于所述冷却部配置于所述样品容纳部侧。
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