[发明专利]传输电信号的装置及光刻设备有效
| 申请号： | 201780055679.6 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109716237B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | J.霍恩;S.布莱迪斯特尔;F.巴特;M.豪夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种装置，该装置在光刻设备(100)的第一结构(10)处布置的第一接口元件(11)和在光刻设备(100)的第二结构(20)处布置的第二接口元件(21)之间传输电信号，其中电导体(30)连接了第一接口元件(11)和所述第二接口元件(21)。装置还具有中空主体(40)，该中空主体(40)至少围绕电导体(30)的区段并且设计为电磁屏蔽电导体(30)。间隙(43)提供在中空主体(40)中或者在中空主体(40)和结构(10、20)中的一个之间，并且间隙(43)允许第一结构(10)和第二结构(20)的相对移动以将第一结构(10)与所述第二结构(20)机械解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 电信号 装置 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种装置，所述装置在第一接口元件(11)和第二接口元件(21)之间传输电信号，所述第一接口元件(11)在光刻设备(100)的第一结构(10)处布置，所述第二接口元件(21)在所述光刻设备(100)的第二结构(20)处布置，其中电导体(30)连接了所述第一接口元件(11)和所述第二接口元件(21)，并且提供中空主体(40)，所述中空主体(40)至少在区段中围绕所述电导体(30)并且用于电磁屏蔽所述电导体(30)，其中间隙(43)提供在所述中空主体(40)中或者在所述中空主体(40)和所述结构(10、20)中的一个之间，所述间隙允许所述第一结构(10)和所述第二结构(20)的相对移动以将所述第一结构(10)与所述第二结构(20)机械解耦。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780055679.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于监视工艺设备的方法和设备
- 下一篇：光刻设备和制造器件的方法
