[发明专利]通过锂化和脱锂的可调谐铌酸锂谐振器和滤波器在审
| 申请号： | 201780054784.8 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109643981A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | A.萨马劳 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H01L41/319 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨倩;王丽辉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种表面声波(SAW)装置(100)包括：硅衬底(108)；由铌酸锂形成的压电衬底(102)；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的氧化铝层(110)；所述压电衬底上的至少一个电极(104、106)。被构造成改变所述压电衬底的充电中心的调谐电路(120)可以包括可调谐电阻器(124)和/或电压源(122)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电衬底 硅衬底 可调谐 铌酸锂 滤波器 表面声波 充电中心 调谐电路 氧化铝层 电极 电压源 电阻器 谐振器 插置 脱锂 锂化 | ||
【主权项】：
1.一种表面声波(SAW)装置，其包括：具有主表面的硅衬底；由铌酸锂形成的压电衬底；插置在所述硅衬底与所述压电衬底之间的金属氧化物层；以及所述压电衬底上的至少一个电极。
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