[发明专利]干涉确定光学表面的形状的测量装置有效
| 申请号： | 201780054763.6 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109716056B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | J.赫茨勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 干涉确定测试件(14)的光学表面(12)的形状的测量装置(10)包括：产生照明波(34)的照明模块(16)，干涉仪(18)，该干涉仪(18)配置为将照明波分裂成参考波(52)和被指引到光学表面上的测试波(50)，两束波关于彼此倾斜使得当将它们叠加在干涉仪的检测平面(62)中时产生多个条纹干涉图案(66)。照明模块具有在检测平面的傅里叶平面中布置的光瞳平面(28)，并且照明模块配置为产生照明波使得光瞳平面中的照明波的强度分布包括一个或多个空间上隔离、连续的表面区域(38)，该表面区域(38)配置为使得具有与表面区域或表面区域的总体配合的最小可能面积的矩形(74)具有至少1.5∶1的纵横比。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 确定 光学 表面 形状 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.由干涉法确定测试物的光学表面的形状的测量设备，包括：‑产生照明波的照明模块，‑干涉仪，所述干涉仪配置为将所述照明波分裂成参考波和被指引到所述光学表面上的测试波，所述参考波和所述测试波关于彼此倾斜，使得通过叠加所述波在所述干涉仪的检测平面中产生多条纹干涉图案，其中所述照明模块具有在所述检测平面的傅里叶平面中布置的光瞳平面，并且所述照明模块配置为产生所述照明波，使得所述光瞳平面中的照明波的强度分布包括一个或多个空间隔离且连续的表面区域，所述表面区域配置为使得具有与所述表面区域或表面区域的总体配合的最小可能面积的矩形具有至少1.5∶1的纵横比。
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