[发明专利]超纯水制造装置有效
| 申请号： | 201780046995.7 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN109562959B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 堀井重希 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;F24H1/00;F24H4/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够使用于将超纯水加热制成温超纯水的热交换器的热源成本降低的超纯水制造装置。将来自副系统(4)的二次纯水通过热交换器(6)及热交换器(10)加热再送往使用点。热交换器(6)的热源是从使用点回流的温超纯水。热交换器(10)的热源流体是通过加热泵(20)及蒸气式热交换器(15)加热过的温水。加热泵(20)的热源是来自使用点的温排水及UF膜分离装置(11A)的浓缩水。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超纯水制造装置，该超纯水制造装置将被加热过的超纯水供给至使用点，其具有：一次纯水制造装置；二次纯水制造装置，对来自该一次纯水制造装置的一次纯水进行处理来制造超纯水；第一热交换器，用于对来自该二次纯水制造装置的超纯水进行加热，并以来自使用点的回流水作为热源；和加热机构，对在该第一热交换器中被加热过的超纯水进一步进行加热；其特征在于，所述加热机构具备：第二热交换器，在所述第一热交换器中被加热过的超纯水被通入该第二热交换器的被加热流体流路中；第一循环流路，使作为传热媒介的第一媒介水在该第二热交换器的热源流体流路中循环流通；第一媒介水加热装置，利用温排水的热对流动在该第一循环流路中的第一媒介水进行加热；和第三热交换器，利用蒸气对在该第一媒介水加热装置中被加热过的第一媒介水进行加热。
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