[发明专利]检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法在审
| 申请号： | 201780046318.5 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109564243A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 太田宪宏 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 检查辅助具包括：多个探针Pr，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部Pra接触基板100的多个检查点；支撑构件300，是以将探针Pr配置成使前端部Pra分别接触基板100的检查点的状态来支撑探针Pr；装置侧连接端子36，是电性连接于检查装置本体2；多个标准配置电极332，是与装置侧连接端子36导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块31，是具有互相相对向的第一面311及第二面312，并形成有第一电极E1及第二电极E2，第一电极E1是配置成在第一面311与探针Pr的后端部Prb接触，第二电极E2是配置成与第一电极E1导通并且在第二面312与标准配置相对应。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 标准配置 第一电极 第二电极 接触基板 连接端子 配置 前端部 装置侧 导通 基板检查装置 电性连接 多个检查 检查装置 支撑构件 检查 第二面 后端部 检查点 电极 棒状 转换 支撑 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检查辅助具，是用以使设于检查对象物的多个检查点对于用以电性检查所述检查对象物的检查装置本体导通的检查辅助具，所述检查辅助具是包括：多个探针，是具有大致棒状的形状，以各探针的前端部接触所述多个检查点；支撑构件，是以将所述多个探针配置成使所述多个前端部分别接触所述多个检查点的状态来支撑所述多个探针；多个装置侧连接端子，是电性连接于所述检查装置本体；多个标准配置电极，是与所述多个装置侧连接端子导通，并以预先设定的标准配置来配置；以及转换块，是具有互相相对向的第一面及第二面，并形成有多个第一电极及多个第二电极，所述多个第一电极是配置成在所述第一面与所述多个探针的后端接触，所述多个第二电极是配置成与所述多个第一电极导通并且在所述第二面与所述标准配置相对应。
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