[发明专利]标记检测装置和标记检测方法、计测装置、曝光装置和曝光方法以及器件制造方法有效
| 申请号： | 201780040616.3 | 申请日： | 2017-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN109478027B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 江上茂树;中小路佳史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 金玲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种标记检测装置，其检测形成于物体(41)的标记区域的标记，其中，该标记检测装置具有：第1光学系统(52a)，其朝向标记区域射出计测光；第2光学系统(53a)，其将通过从第1光学系统向标记区域照射而产生的0级光和衍射光的至少一部分向标记区域照射；以及受光器(55a)，其接收通过从第2光学系统向标记区域照射而产生的0级光和衍射光的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 检测 装置 方法 曝光 以及 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种标记检测装置，其检测形成于物体的标记区域的标记，其中，该标记检测装置具有：第1光学系统，其朝向所述标记区域射出第1计测光；第2光学系统，其使第2计测光发生偏转而作为第3计测光向所述标记区域照射，该第2计测光包含通过从所述第1光学系统向所述标记区域照射所述第1计测光而产生的0级光和衍射光中的至少一部分；以及受光器，其接收第4计测光，该第4计测光包含通过从所述第2光学系统向所述标记区域照射所述第3计测光而产生的0级光和衍射光中的至少一部分。
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