[发明专利]用于电子器件的探针卡有效

专利信息
申请号: 201780037271.6 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN109564242B 公开(公告)日: 2022-10-21
发明(设计)人: 罗伯特·克里帕;斯太法罗·费利奇 申请(专利权)人: 泰克诺探头公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R3/00
代理公司: 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 代理人: 方挺;侯晓艳
地址: 意大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明描述了一种用于电子器件的测试设备的探针卡(20),所述探针卡包括至少一个测试头(21)以及至少一个空间变换器(28),所述测试头具有插入到导向孔中的多个接触探针(22),所述导向孔在至少一个上导向件(23)和至少一个下导向件(24)中实现,所述接触探针(22)的弯曲区域(26)限定在所述上导向件和下导向件(23,24)之间,所述空间变换器具有多个接触垫(28A),每个所述接触探针(22)具有至少一个第一端子部分(21A)和至少一个第二端子部分(21B),所述第一端子部分(21A)从所述下导向件(24)突出,具有第一长度(LA)并且以适于抵接待测器件(27)的相应接触垫(27A)的接触尖端(22A)结束,所述第二端子部分从所述上导向件(23)伸出,具有第二长度(LB)并以适于抵接所述空间变换器(28)的所述接触垫(28A)之一的接触头结束,其中所述探针卡还包括至少一个内插在所述空间变换器(28)和所述上导向件(23)之间的垫片元件(30),所述垫片元件(30)可拆卸以通过随着测试头(21)、特别是所述上导向件(23)和所述空间变换器(28)的接近改变所述第二端子部分(21B)的第二长度(LB)来改变所述接触探针(22)的第二端子部分(21B)的第二长度(LB)从而调节所述接触探针(22)的第一端子部分(21A)的第一长度(LA)。
搜索关键词: 用于 电子器件 探针
【主权项】:
1.一种用于电子器件的测试设备的探针卡(20),包括至少一个测试头(21)以及至少一个空间变换器(28),所述测试头具有插入到多个导向孔中的多个接触探针(22),所述多个导向孔在至少一个上导向件(23)和至少一个下导向件(24)中实现,所述接触探针(22)的弯曲区域(26)限定在所述上导向件(23)和所述下导向件(24)之间,所述空间变换器具有多个接触垫(28A),每个所述接触探针(22)具有至少一个第一端子部分(21A)和至少一个第二端子部分(21B),所述第一端子部分从所述下导向件(24)突出,具有第一长度(LA)并且以接触尖端(22A)结束,所述接触尖端适于抵接待测器件(27)的相应接触垫(27A)上,所述第二端子部分从所述上导向件(23)突出,具有第二长度(LB)并以接触头(22B)结束,所述接触头适于抵接所述空间变换器(28)的所述接触垫(28A)之一,其特征在于还包括至少一个垫片元件(30),所述垫片元件插入在所述空间变换器(28)和所述测试头(21)的所述上导向件(23)之间,所述垫片元件(30)可拆卸以通过改变所述接触探针(22)的所述第二端子部分(21B)的所述第二长度(LB)调节所述接触探针(22)的所述第一端子部分(21A)的所述第一长度(LA),使所述测试头(21),特别是所述上导向件(23),接近所述空间变换器(28)。
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