[发明专利]富含硅的倍半硅氧烷树脂有效
| 申请号： | 201780037110.7 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109415513B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 傅鹏飞;张元凡 | 申请（专利权）人： | 美国陶氏有机硅公司 |
| 主分类号： | C08G77/04 | 分类号： | C08G77/04;C08G77/14;C08L83/04;C08L83/06;C08G77/46;C08L83/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种倍半硅氧烷树脂、包含倍半硅氧烷树脂和光酸产生剂的光致抗蚀剂组合物、包含倍半硅氧烷树脂的蚀刻掩模组合物、由其制备的产品、制备和使用它们的方法、以及含有它们的制品和半导体器件。所述倍半硅氧烷树脂包含与硅键合的氢原子T‑单元和具有式‑CH |
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| 搜索关键词： | 富含 倍半硅氧烷 树脂 | ||
【主权项】：
1.一种式(I)的倍半硅氧烷树脂：[HSiO3/2]h[R1SiO3/2]b[R2SiO3/2]n[R3SiO3/2]v[HOSiO3/2]o[SiO4/2]q(I)，其中下标h为0.30至0.90的摩尔份数；每个R1独立地为式‑CH2CH2CH2CO2C(R1a)3或‑CH(CH3)CH2CO2C(R1a)3，其中每个R1a独立地为未取代的(C1‑C2)烷基；下标b为0至0.48的摩尔份数；每个R2独立地为双环[2.2.1]庚烷‑5‑羧酸‑2‑基1，1‑二甲基乙基酯或双环[2.2.1]庚烷‑5‑羧酸‑3‑基1，1‑二甲基乙基酯；下标n为0至0.35的摩尔份数；其中总和(b+n)大于零；每个R3独立地为聚醚基团或酯基团；并且下标v为0至0.15的摩尔份数；下标o为0至0.30的摩尔份数；下标q为0至0.1的摩尔份数；其中总和(h+o+q)＝0.52至0.90；其中总和(b+n+v+o+q)＝0.10至0.48。
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