[发明专利]表面改性设备

摘要

问题：为了能够直接从放电电极释放气体并使其结构简单。方案：电极室C中的放电电极E由长度等于或大于薄膜F的宽度的一对电极构件8和9形成。另外，一对电极构件8和9设置成彼此面对，以便将支撑构件4夹在其间，所述支撑构件具有与电极构件几乎相同的长度；在一对电极构件8和9彼此面对的部分中形成一个间隙；该间隙在放电电极的顶端开口，以便用作气体通道15。同时，在上述支撑构件4中，在其纵向上形成多个气体引导孔5，并且气体引导孔与气体供应系统连通。

主权项

1.一种表面改性装置，包括放电电极，所述放电电极放置在电极室中并且长度等于或大于诸如薄膜等的处理基材的宽度，还包括转移所述处理基材的处理辊，所述放电电极面对所述处理基材，在所述放电电极和所述处理辊之间产生放电，其中所述放电电极包括一对电极构件，每个所述电极构件的长度大致与所述处理基材的宽度相匹配，所述一对电极构件隔着放在所述电极构件之间的支撑构件彼此面对，所述支撑构件的长度近似等于所述电极构件的长度，在所述电极构件之间的面对面区域中形成裂缝，以用作气体通道，所述气体通道具有通向所述放电电极和所述处理辊之间的面对面区域的远端，以及所述支撑构件在支撑构件的纵向方向上具有在其中形成的多个气体引导孔，所述多个气体引导孔与替换气体供给系统连通，以及所述气体引导孔与所述气体通道连通。