[发明专利]超声波换能器、超声波换能器的制造方法以及超声波拍摄装置有效
| 申请号： | 201780021776.3 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN108886660B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 长谷川浩章;町田俊太郎;竹崎泰一;龙崎大介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;A61B8/14;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 超声波换能器具有空洞部(110)和隔膜(120)，空洞部(110)形成于被基板(101)上的下部电极(103)和上部电极(107)夹着的绝缘膜(104)、(106)之间，隔膜(120)由空洞部(110)的上方的绝缘膜(106、108、111、112)及上部电极(107)构成，并且在发送/接收超声波时振动。另外，空洞部(110)在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 换能器 制造 方法 以及 拍摄 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波换能器，其特征在于，具有：基板；下部电极，其形成在所述基板上；空洞部，其设置于第一绝缘膜与第二绝缘膜之间，所述第一绝缘膜及第二绝缘膜依次形成于所述下部电极上；上部电极，其形成于所述空洞部的上方的所述第二绝缘膜上；第三绝缘膜及第四绝缘膜，其依次形成于所述上部电极上；以及隔膜，其由所述空洞部上的所述第二绝缘膜、所述上部电极、所述第三绝缘膜以及第四绝缘膜构成，所述空洞部在将中心部的厚度设为h1且将外周部的厚度设为h2时，具有满足h1＞h2＞0的关系的截面形状。
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