[发明专利]材料、使用该材料的保存容器、安装于该保存容器的阀以及ClF的保存方法、ClF容器的使用方法在审
申请号: | 201780021008.8 | 申请日: | 2017-03-16 |
公开(公告)号: | CN108884548A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 泷泽浩树;菊池翔;涩泽幸伸 | 申请(专利权)人: | 关东电化工业株式会社 |
主分类号: | C23C8/08 | 分类号: | C23C8/08;C23C28/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 郭放;许伟群 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在材料的至少一部分具有由于与含有ClF的气体接触而产生的氟化物的钝化膜(28)。 | ||
搜索关键词: | 保存容器 气体接触 钝化膜 氟化物 保存 | ||
【主权项】:
1.一种材料,其特征在于,在至少一部分具有由于与含有ClF的气体接触而产生的氟化物的钝化膜。
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