[发明专利]用于测量工件的平坦表面相对于旋转轴线的轴向摆动的方法以及相应的测量组件在审
| 申请号： | 201780018882.6 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN108885094A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | D·马尔佩齐;A·罗西 | 申请（专利权）人： | 马波斯S.P.A.公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种用于通过线性图像传感器(19)测量工件(2)的平坦表面(22)相对于旋转轴线(6)的轴向摆动的方法，其中，通过相对于工件沿着平行于旋转轴线的方向(Z)对传感器平移，来执行对非旋转的工件的第一光学扫描，以随着工件和传感器之间的相对位置变化而获得像素(23)的第一光密度趋势(l1)，并且确定作为第一光强度趋势的函数的平坦表面的相对位置(ZR)。当工件相对于轴线旋转时，在平坦表面的相对位置中执行工件的第二次光学扫描，以在工件的角位置(θ)变化时获得像素的第二光强度趋势(l2)。使用由第二光强度趋势导出或通过处理获得的光强度值作为输入数据，而从第一光强度趋势确定最大位置值和最小位置值(Zmax，Zmin)，并且轴向摆动被计算为最大位置值和最小位置值之间的差值。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦表面 旋转轴线 轴向摆动 测量工件 光学扫描 最大位置 最小位置 传感器 像素 线性图像传感器 相对位置变化 平移 测量组件 趋势确定 轴线旋转 非旋转 角位置 导出 平行 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过设置有线性图像传感器(19)的光电探针(12)测量工件(2)的平坦表面(22)相对于旋转轴线(6)的轴向摆动或正交误差的方法，所述线性图像传感器(19)平行于与旋转轴线(6)垂直的平面定向，所述方法包括：‑经由光电探针(12)，通过工件(2)和光电探针(12)之间沿着平行于旋转轴线(6)的方向(Z)的相对平移，来对位于某个角位置(θ0)的工件(2)进行第一次光学扫描，以随着工件(2)和光电探针(12)之间沿所述方向(Z)的相对位置改变而获得线性图像传感器(19)的至少一个像素(23)的第一光强度趋势(l1)；‑确定工件(2)的平坦表面(22)的相对位置(ZR)作为第一光强度趋势(l1)中具有单调趋势的位置范围(ZM)中的中间位置；‑在工件(2)相对于旋转轴线(6)旋转时，经由光电探针(12)，在所述工件(2)的所述平坦表面的相对位置(ZR)中，对所述工件(2)进行第二次光学扫描，以随着工件(2)的角位置(θ)绕旋转轴线(6)变化而获得所述至少一个像素(23)的第二光强度趋势(l2)；‑从第二光强度趋势(l2)获得至少两个光强度值；‑在第一光强度趋势(l1)中，选择对应于所述至少两个光强度值的至少两个位置值；‑基于所述至少两个位置值，从所述第一光强度趋势(l1)确定最大位置值(Zmax)和最小位置值(Zmin)；以及‑计算所述轴向摆动作为所述最大位置值(Zmax)和所述最小位置值(Zmin)之间的差值。
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