[发明专利]半导体激光光源装置在审
申请号: | 201780011078.5 | 申请日: | 2017-02-14 |
公开(公告)号: | CN108701960A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 森田大辅;玉谷基亮;池田一贵;玄田裕美 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01L23/473;H01S5/022;H01S5/40 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体激光光源装置,多个半导体激光元件以阵列状排列且在单面形成有第一电极、在另一面形成有第二电极的板状的半导体激光器阵列的第一电极与在电绝缘性材料的基板的单面形成有电极层的载体基板的电极层接合,载体基板的与形成有电极层的面相反侧的面与金属的散热器接合,在该半导体激光光源装置中,在将散热器的与载体基板相接合的区域向Y方向投影而得到的内部区域形成以小于或等于1mm的间距排列有多个扁平流路的冷却部,该扁平流路的形状是宽度为200μm至600μm的范围的尺寸、深度为3mm至5mm的范围的尺寸的扁平形状。 | ||
搜索关键词: | 半导体激光光源 载体基板 接合 电极层 散热器 扁平流路 单面形成 第一电极 半导体激光器阵列 半导体激光元件 电绝缘性材料 阵列状排列 扁平形状 第二电极 间距排列 内部区域 冷却部 板状 基板 金属 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光光源装置,多个半导体激光元件以阵列状排列且在单面形成有第一电极、在另一面形成有第二电极的板状的半导体激光器阵列的所述第一电极与在电绝缘性材料的基板的单面形成有导电性的电极层的载体基板的所述电极层接合,所述载体基板的与形成有所述电极层的面相反侧的面与金属的散热器接合,该半导体激光光源装置的特征在于,在将垂直于所述散热器的与所述载体基板接合的面的方向设为Y方向,将与该Y方向垂直的、所述半导体激光器阵列的多个半导体激光元件的排列方向设为X方向,将与所述Y方向以及所述X方向垂直的方向设为Z方向的情况下,在将所述载体基板从所述Y方向投影至所述散热器的内部而得到的区域形成有在所述Z方向上以小于或等于1mm的间距排列有多个扁平流路的冷却部,为了使冷却水从所述冷却部的所述X方向的一侧流至另一侧,设置有从所述散热器的外部连通至所述冷却部的2个冷却水通路,其中,该扁平流路的形状是所述Z方向的宽度为200μm至600μm的范围的尺寸以及所述Y方向的深度为3mm至5mm的范围的尺寸的扁平形状。
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