[发明专利]图案形成方法、加工基板的生产方法、光学组件的生产方法、电路基板的生产方法、电子组件的生产方法和压印模具的生产方法有效
| 申请号： | 201780008232.3 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN108602238B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 伊藤俊树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02 |
| 代理公司： | 北京魏启学律师事务所 11398 | 代理人： | 魏启学 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
根据本发明的图案形成方法以下述顺序包括：步骤(1)：将由至少包含聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)形成的层层压在基板的表面上；步骤(2)：将至少包含聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴通过以离散的方式滴落而在固化性组合物(A1)层上形成层压体；步骤(3)：将通过固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的部分混合形成的层夹持在模具和基板之间；步骤(4)：从模具侧用光照射通过两种固化性组合物的部分混合形成的层的被夹持在模具和基板之间的部分，以使所述部分一次性固化；和步骤(5)：将模具与固化后的固化性组合物的层分离。该图案形成方法的特征在于：固化性组合物(A1)至少包含由通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物(a1)： |
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| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 加工 生产 光学 组件 路基 电子 压印 模具 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其特征在于，其以下述顺序包括：步骤(1)：将由至少包含聚合性化合物a1的固化性组合物A1形成的层层压在基板的表面上，步骤(2)：将至少包含聚合性化合物a2的固化性组合物A2的液滴离散地滴落在固化性组合物A1的层上以形成层压体，步骤(3)：将固化性组合物A1和固化性组合物A2部分地混合的层夹持在模具和基板之间，步骤(4)：通过从模具侧照射光而使两种所述固化性组合物部分地混合的层的被夹持在模具和基板之间的部分一次性固化，和步骤(5)：将模具与由固化后的固化性组合物形成的层分离，其中所述固化性组合物A1至少包含由以下通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物a1：![]()
在所述通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的m+n价烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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