[发明专利]切削工具用硬涂膜

摘要

本发明涉及包括通过化学气相沉积法形成的MT‑TiCN层和α‑氧化铝层的硬涂层。本发明的切削工具用涂膜为由硬材料构成并在切削工具的基材上形成的涂膜。所述涂膜包含：TiCN层；和形成于所述TiCN层上的α‑氧化铝层，并且所述α‑氧化铝层特征在于：在进行利用XRD的Psi摇摆分析期间，(006)平面的主峰位于20度至40度之间，所述α‑氧化铝层的残留应力为‑0.9GPa～0.4GPa；所述TiCN层由TiCxNyOz(x+y+z≤1,x0,y0,z≥0)组成；C/(C+N)的组成比大于或等于0.4且小于0.5；TC(220)/TC(422)的比值小于0.45；且TC(220)/TC(422)的比值小于0.45。

主权项

一种切削工具用硬涂层，其为在由硬材料所形成的切削工具的基材上形成的涂层，所述涂层包含：TiCN层；和形成于所述TiCN层上的α‑氧化铝层；其中：在通过XRD的psi摇摆分析期间，所述α‑氧化铝层具有位于20度至40度之间的(006)平面的主峰(最大强度峰)；所述α‑Al₂O₃层的残留应力为‑0.9GPa～0.4GPa；所述TiCN层由TiC_xN_yO_z(x+y+z≤1,x>0,y>0,z≥0)构成；C/(C+N)的组成比大于或等于0.4且小于0.5；由式1所表示的TC(220)/TC(422)的比值小于0.45；且TC(220)/TC(422)的比值小于0.45，[式1]TC(hkl)＝I(hkl)/Io(hkl){1/n∑I(hkl)/Io(hkl)}‑1式中，I(hkl)是(hkl)反射强度；Io(hkl)是根据JCPDS卡42‑1489的标准强度；n是计算所用的反射次数；且(hkl)反射使用(111)、(200)、(220)、(311)、(331)、(420)、(422)和(511)。