[实用新型]一种微波等离子体激发装置

摘要

本实用新型涉及一种微波等离子体激发装置，包括磁控管、转换器、微波窗口和腔体，所述磁控管的输出端与转换器的输入端通过第一微波传输机构连通，所述转换器的输出端通过第二微波传输机构与微波窗口对接，所述微波窗口置于腔体上，所述第二微波传输机构的底侧设有出风口；还包括气冷系统，气冷系统将气体导向磁控管，所述气体依次流过磁控管、第一微波传输机构、转换器和第二微波传输机构后从出风口流出。本实用新型冷却效果好，通过气冷系统对装置整体进行冷却，同时对装置各部位进行冷却降温，有利于装置精密度的提升和装置的持续正常工作；在磁控管、转换器和微波窗口等热量集中位置辅设相应冷却液流道，可进一步提升降温效果，提升使用寿命。

主权项

1.一种微波等离子体激发装置，包括磁控管（2）、转换器（6）、微波窗口（14）和腔体（7），所述磁控管（2）的输出端与转换器（6）的输入端通过第一微波传输机构（3）连通，所述转换器（6）的输出端通过第二微波传输机构（13）与微波窗口（14）对接，所述微波窗口（14）置于腔体（7）上，其特征在于，所述第二微波传输机构（13）的底侧设有出风口（9）；还包括气冷系统（1），气冷系统（1）将气体导向磁控管（2），所述气体依次流过磁控管（2）、第一微波传输机构（3）、转换器（6）和第二微波传输机构（13）、微波窗口（14）后从出风口（9）流出。