[实用新型]真空蒸发器与真空蒸发装置

摘要

本实用新型公开了一种真空蒸发器与真空蒸发装置，真空蒸发器包括：金属加热元件以及蒸发容器。金属加热元件呈片状环形且包含片状本体。片状本体包含互连的多个金属带，多个金属带以两个为一单元。片状本体具有顶部与底部，邻近顶部的各单元包含至少一个镂空部。蒸发容器连接片状本体且受金属加热元件围绕，蒸发容器具有容器顶端与容器底端。其中，金属加热元件通以电流，使顶部产生顶部温度，底部产生底部温度，顶部温度与底部温度不同，致使容器顶端的温度与容器底端的温度不同。借此，本实用新型的真空蒸发器，利用片状金属加热元件的弯折及弯折处上的细部差异结构创造出局部高温区域，可避免蒸镀材料冷凝于坩埚开口处所造成的塞口现象。

主权项

1.一种真空蒸发器，其特征在于，包含：金属加热元件，其呈片状环形，且所述金属加热元件包含：片状本体，其包含互连的多个金属带，所述多个金属带以两个为一单元，所述多个金属带环接而成形，且所述多个金属带均呈片状结构，所述片状本体具有顶部与底部，邻近所述顶部的各所述单元包含至少一个镂空部，所述镂空部呈几何图形；以及蒸发容器，其连接所述片状本体且受所述金属加热元件围绕，所述蒸发容器具有容器顶端与容器底端；其中，所述金属加热元件通以电流，使所述顶部产生顶部温度，所述底部产生底部温度，所述顶部温度与所述底部温度不同，致使所述容器顶端与所述容器底端的温度不同。