[实用新型]一种闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室有效
| 申请号： | 201721835018.9 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207830625U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 高少飞 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K11/065 | 分类号： | F16K11/065;F16K31/122;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜设备的真空腔室技术领域，公开了一种闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室。所述闸阀包括阀座、阀板以及气缸组件，所述气缸组件包括气缸载板以及气缸，所述阀板设置在所述气缸载板的正上方，所述气缸固定在所述气缸载板上且所述气缸的缸体位于所述气缸载板的下方，所述气缸的气缸杆穿过所述气缸载板与所述阀板固定连接并推动所述阀板在所述阀座上移动；所述气缸载板的板面外周大于所述阀板的外周，所述气缸载板能够与该闸阀安装的腔室的底板开口密封连接。本实用新型闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室，在进行阀板维护时，可使阀板与气缸组件整体从腔室底部拆卸下来，这样就可减少上盖的拆装和检漏工作，也可减少对腔内的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 气缸 阀板 载板 闸阀 真空腔室 内部集成 气缸组件 本实用新型 阀座 腔室 外周 底板开口 镀膜设备 密封连接 闸阀安装 气缸杆 上移动 板面 拆装 缸体 检漏 腔内 上盖 拆卸 穿过 污染 维护 | ||
【主权项】：
1.一种闸阀，其特征在于：包括阀座、阀板以及气缸组件，所述气缸组件包括气缸载板以及气缸，所述阀板设置在所述气缸载板的上方，所述气缸与所述气缸载板固定连接，且所述气缸的缸体位于所述气缸载板的下方，所述气缸的气缸杆穿过所述气缸载板与所述阀板固定连接并推动所述阀板在上下移动；所述气缸载板的板面外周大于所述阀板的外周，所述气缸载板能够与该闸阀安装的腔室的底板开口密封连接。
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