[实用新型]一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体发生器

摘要

本实用新型公开了一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体(ICP)发生器，主要由分体式炬管、炬管安装座、弹簧夹头、单匝线圈、端盖板、喷嘴和底板组成；所述分体式炬管由相互独立的外管、一体式中管、内管以及固定装置组成，所述单匝线圈由环形碟片、电流引入座和电流引出座三部分组成；所述端盖板通过多个紧固螺钉和底板进行连接；所述喷嘴由喷嘴外体和喷嘴内体两部分组成，通过多个紧固螺钉和端盖板连接。所述固定装置包括外管夹套、内管盖板、炬管安装座、弹簧夹头。本实用新型具有以下突出优点：1.采用与炬管同轴布置的单匝线圈可加工表面质量；2.降低炬管的替换和维修成本；3.提升炬管同轴度；4.实现加工分辨率可调。

主权项

1.一种加工硅基材料的大气感应耦合等离子体发生器，主要由分体式炬管、单匝线圈、端盖板、喷嘴和底板组成，其特征在于：所述分体式炬管由相互独立的外管、一体式中管、内管以及固定装置组成；所述单匝线圈由环形碟片、电流引入座和电流引出座三部分组成；所述喷嘴由喷嘴外体和喷嘴内体两部分组成；所述固定装置包括外管夹套、内管盖板、炬管安装座、弹簧夹头，外管夹套大直径圆柱部分端面设有均布沉头孔，小直径圆柱部分端面设有螺纹孔，一体式中管设有与上述螺纹孔配合的均布通孔，内管盖板端面设有与上述通孔匹配的均布沉头孔，炬管安装座中部设有一斜度为a°圆锥孔，端面有多个均布在外侧和均布在内侧的螺纹孔，均布在外侧的螺纹孔用于和上述外管夹套中的沉头孔配合，依靠多个紧固螺钉可将炬管安装座、外管夹套、一体式中管、内管盖板四部分连为一体，再由炬管安装座下部的第一安装孔与底板连接; 弹簧夹头选用钢材制成,包括锥面段和端面段，其中锥面段斜度为5°~30°，由4～12段簧片组成, 端面段设有调整孔；所述的一体式中管包括管身段和管座段，管身段和管座段之间设有一环形台阶，用于定位外管，环形台阶处设有第一沟槽，管座段后端内壁处设有第二沟槽和第三沟槽，管身段端部设有环形旋气槽，管座段外圆柱面设有中间气体入口和外气体入口，其中外气体入口和中间气体入口轴线均偏离炬管轴线，且与管座段圆柱面法线夹角为5°～30°，上述内管盖板外圆柱面设有内气体入口，端面设有内气体孔道；所述的环形碟片由φ30～φ60mm的外圆和φ10mm ～φ40mm的内孔组成，其厚度为1～10mm，内孔用于穿设上述外管，环形碟片的下部有一宽度为W的开口狭缝，用于在电流引入座和电流引出座之间形成定向电流，端面有沿狭缝对称分布的两个的连接孔；电流引入座为铝制材料加工而成的三层阶梯结构，上层阶梯设有一对称分布的宽度为W的凹槽，凹槽两壁面和上述环形碟片的端面配合，两壁端面设有一个通孔，用于和上述环形碟片端面的连接孔配合；中层阶梯端面有一接线螺纹孔，用于和射频电流连接板匹配，下层阶梯局部采用微弧氧化的方式形成绝缘层，避免射频电流传至底板，端面设有第二安装孔，电流引入座依靠套设在第二安装孔中的绝缘材料螺钉与底板连接；电流引出座为铝制材料加工而成的两层阶梯结构，上层阶梯的结构与电流引入座中描述的一致，下层阶梯上端面有第二安装孔，电流引出座依靠套设在第二安装孔中的紧固螺钉与底板连接，其中狭缝W宽度为1～20mm。