[实用新型]一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器有效
| 申请号： | 201721801768.4 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207877921U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 杨少平;梁永生;冉瑞应;李迎春;金雪 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开的一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环和支撑腿，每个发热环具有相对的第一端部和第二端部，发热环具有多个自第一端部向第二端部延伸的第一狭槽以及多个自第二端部向第一端部延伸的第二狭槽，多个第一狭槽与多个第二狭槽交替设置，每个发热环上具有至少两个安装部，至少两个发热环的安装部对应固定于支撑腿。本实用新型一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器解决了现有的加热器无法通用的问题。其将加热结构分为至少两个阻值不同的加热环，通过调整加热环的数量及阻值来实现不同的温度梯度分布，即可满足不同的直拉单晶生产工艺需求。 | ||
| 搜索关键词： | 发热环 加热器 狭槽 组合式多用途 单晶硅 第二端部 第一端部 直拉法 本实用新型 加热环 支撑腿 温度梯度分布 加热结构 交替设置 直拉单晶 通用的 延伸 生产工艺 生产 | ||
【主权项】：
1.一种直拉法生产单晶硅用组合式多用途加热器，其特征在于，包括至少两个阻值不同、但结构相同的发热环(1)和支撑腿(2)，每个所述发热环(1)具有相对的第一端部(11)和第二端部(12)，所述发热环(1)具有多个自所述第一端部(11)向所述第二端部(12)延伸的第一狭槽(13)以及多个自所述第二端部(12)向所述第一端部(11)延伸的第二狭槽(14)，所述多个第一狭槽(13)与多个第二狭槽(14)交替设置，每个所述发热环(1)上具有至少两个安装部(15)，所述至少两个发热环(1)的安装部(15)对应固定于支撑腿(2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于银川隆基硅材料有限公司，未经银川隆基硅材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721801768.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于区熔炉的二次夹持块
- 下一篇：一种单晶硅加料器导向环
