[实用新型]一种硅片高压冲洗槽

摘要

一种硅片高压冲洗槽，包括槽体、挡水板升降装置、高压喷淋装置及过滤装置，槽体侧壁埋设有喷淋装置，喷淋装置通过喷淋管道和连接若干高压喷水头，槽体的两侧安装有挡水板升降装置，槽体底部连接排水管，排水管底部连接过滤装置，过滤装置分为废水罐和净水罐，废水罐与净水罐之间安装有滤网，废水罐底部安装有排污管，净水罐顶部连接有外接水管，底部连接有循环水管，循环水管与喷淋管道对接。本实用新型的槽体内埋设高压喷淋装置，通过强力水流冲刷硅片，提升清洗效率；挡水板通过电动伸缩杆上下位移，不影响清洗吊篮的垂直行程的同时，可在冲刷过程中避免相互污染；过滤装置可将残渣过滤，循环使用水源，节约水源、降低成本。

主权项

1.一种硅片高压冲洗槽，其特征在于：包括槽体(1)、高压喷淋装置(2)、挡水板升降装置(3)及过滤装置(4)，所述槽体(1)侧壁埋设有所述高压喷淋装置(2)，所述高压喷淋装置(2)通过喷淋管道(21)和连接若干高压喷水头(22)，所述槽体(1)的两侧安装有所述挡水板升降装置(3)，所述挡水板升降装置(3)包括挡水板(31)及电动伸缩杆(32)，所述挡水板(31)底面与所述电动伸缩杆(32)顶端连接，所述槽体(1)底部为下凹的锥面，锥面中心开有通孔，所述通孔连接排水管(5)，所述排水管(5)底部连接所述过滤装置(4)，所述过滤装置(4)分为废水罐(41)和净水罐(42)，所述废水罐(41)与所述净水罐(42)之间安装有滤网(43)，所述废水罐(41)底部安装有排污管(44)，所述净水罐(42)顶部连接有外接水管(45)，底部连接有循环水管(46)，所述循环水管(46)与所述喷淋管道(21)对接，且所述循环水管(46)的主管道上安装有增压水泵(6)。