[实用新型]一种激光晶圆切割机定位装置有效
申请号: | 201721783713.5 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN207577694U | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 张少波 | 申请(专利权)人: | 深圳泰德半导体装备有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K37/04 |
代理公司: | 杭州知瑞知识产权代理有限公司 33271 | 代理人: | 陈俊 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福永街道大*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种激光晶圆切割机定位装置,包括激光晶圆切割机主体、工作箱、激光切割头、安装板、第一液压伸缩缸、第一挤压板、第二液压伸缩缸以及第二挤压板,工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧,激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧,安装板固定激光晶圆切割机主体上端面,第一液压伸缩缸安装在内部后侧,第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面,第一液压伸缩缸安装在内部前侧,第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面,该设计解决了原有激光晶圆切割装置没有电动固定结构的问题,本实用新型结构合理,定位切割准确,适用范围广,可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 晶圆切割机 液压伸缩缸 激光 挤压板 本实用新型 激光切割头 主体上端面 定位装置 螺栓固定 工作箱 安装板固定 固定结构 晶圆切割 安装板 后端面 前端面 切割 | ||
【主权项】:
1.一种激光晶圆切割机定位装置,包括万向轮、激光晶圆切割机主体、工作箱、固定机构、激光切割头、照明灯、太阳能光伏板、安装板以及显示屏,其特征在于:所述万向轮安装在激光晶圆切割机主体下端面,所述工作箱设置在激光晶圆切割机主体左侧,所述激光切割头设置在激光晶圆切割机主体上端面左侧,所述照明灯安装在激光晶圆切割机主体前端面,所述安装板固定激光晶圆切割机主体上端面,所述太阳能光伏板固定在安装板上端面,所述显示屏安装在激光晶圆切割机主体前侧,所述固定机构设置在工作箱内部上侧;所述固定机构包括第一液压伸缩缸、第一挤压板、推出开关、蓄电池、缩回开关、第二液压伸缩缸以及第二挤压板,所述第一液压伸缩缸安装在内部后侧,所述第一挤压板通过螺栓固定在第一液压伸缩缸前端面,所述第一液压伸缩缸安装在内部前侧,所述第二挤压板通过螺栓固定在第二液压伸缩缸后端面,所述推出开关安装在工作箱左端面后侧,所述缩回开关安装在工作箱左端面前侧,所述蓄电池按安装在工作箱内部左侧。
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