[实用新型]三探针原子力显微镜系统

摘要

三探针原子力显微镜系统，涉及一种气液通用光路不变型三探针原子力显微镜系统，解决现有原子力显微镜系统存在集成度低，导致AFM在进行某些操作时出现误差，在光路调节过程中，导致生物样品的活体检测工作效率低等问题，包括光学显微镜模块和样品台扫描反馈模块；还包括三个以样品台为中心成120°设置的探针扫描反馈模块；所述光学显微镜模块放置在样品台扫描反馈模块上方；本实用新型气液两用光路不变型三探针操纵原子力显微镜结构简单，既可以在气相中测量成像，又可以在液相下对样品进行成像操纵，尤其光路由气相进入液相时不会改变，很好的解决了液相下光路的调节问题，大大的提高了效率，有望在生物科技领域得到广泛应用。

主权项

1.三探针原子力显微镜系统，包括光学显微镜模块(1)和样品台扫描反馈模块(2)，其特征是；还包括三个以样品台为中心成120°设置的探针扫描反馈模块；所述光学显微镜模块(1)放置在样品台扫描反馈模块(2)上方，所述样品台扫描反馈模块(2)包括第一X轴步进电机(2004)、第一Y轴步进电机(2005)、第一Z轴步进电机(2003)、第一XYZ轴压电陶瓷(2002)和样品池(2001)；所述第一X轴步进电机(2004)、第一Y轴步进电机(2005)、第一Z轴步进电机(2003)组成第一微米级位移平台，第一XYZ轴压电陶瓷(2002)通过螺丝固定在第一微米级位移平台上，样品池(2001)放置在第一XYZ轴压电陶瓷(2002)上，所述第一微米级位移平台和第一XYZ轴压电陶瓷(2002)与计算机连接；在其中一个探针扫描反馈模块上固定玻璃窗(3015)和夹持装置；每个探针扫描反馈模块包括第二X轴步进电机(3007)、第二Y轴步进电机(3008)、第二Z轴步进电机(3009)、第二XYZ轴压电陶瓷(3010)、摆动平台(3006)、第一XYZ轴手动位移平台(3003)、第二XYZ轴手动位移平台(3004)、探针架(3011)、激光器(3014)、PSD(3012)和反射镜(3013)；所述第二X轴步进电机(3007)、第二Y轴步进电机(3008)和第二Z轴步进电机(3009)通过螺丝固定并构成第二微米级位移平台，摆动平台(3006)固定在第二微米级位移平台上，XYZ轴压电陶瓷(3010)固定在摆动平台(3006)上，探针架(3011)固定在第二XYZ轴压电陶瓷(3010)上，在所述探针架(3011)上方设置第一XYZ轴手动位移平台(3003)和第二XYZ轴手动位移平台(3004)，所述第一XYZ轴手动位移平台(3003)用于PSD(3012)位置的微调，第二XYZ轴手动位移平台(3004)用于激光器(3014)的微调，反射镜(3013)夹持在探针架(3011)上，玻璃窗(3015)设置在探针架(3011)上，第二微米级位移平台及第二XYZ轴压电陶瓷(3010) 与计算机连接。