[实用新型]一种光刻定位治具有效

专利信息
申请号: 201721758552.4 申请日: 2017-12-16
公开(公告)号: CN207833217U 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 周军华;罗勇 申请(专利权)人: 吉安航盛机电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 代理人: 胡思棉
地址: 343100 江西省吉*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种光刻定位治具,包括第二安装板、支撑杆和连接体,所述第二安装板一侧面板固定连接有第一安装板,所述第二安装板相对的另一侧面板四拐角处均固定设有加强体,且所述加强体上通过矩形孔连接有矩形连接体,且所述矩形连接体上端连接有所述支撑杆,所述支撑杆上端设有圆柱体,所述圆柱体贯穿连接有连接柱,且所述连接柱垂直连接有旋转体,所述第二安装板上设置若干连接体,且所述连接体相对的另一端通过安装体连接有撑板。在使用的时候可以松开螺母,然后旋转旋转体调整位置,调整到合适的位置然后将螺母锁紧即可。调整好后,在光刻蚀的时候可以将需要刻的产品放置在撑板上,靠住旋转体进行刻蚀。本实用新型具有结构简单的特点。
搜索关键词: 安装板 连接体 旋转体 支撑杆 本实用新型 矩形连接体 光刻定位 上端 加强体 连接柱 撑板 治具 螺母 产品放置 垂直连接 调整位置 面板固定 安装体 拐角处 光刻蚀 矩形孔 螺母锁 松开 刻蚀 贯穿
【主权项】:
1.一种光刻定位治具,包括第二安装板(1)、支撑杆(6)和连接体(12),其特征在于,所述第二安装板(1)一侧面板固定连接有第一安装板(2),所述第二安装板(1)相对的另一侧面板四拐角处均固定设有加强体(3),且所述加强体(3)上通过矩形孔(4)连接有矩形连接体(5),且所述矩形连接体(5)上端连接有所述支撑杆(6),所述支撑杆(6)上端设有圆柱体(7),所述圆柱体(7)贯穿连接有连接柱(9),且所述连接柱(9)垂直连接有旋转体(10),所述第二安装板(1)上设置若干连接体(12),且所述连接体(12)相对的另一端通过安装体(11)连接有撑板(13),所述连接柱(9)的一端设置外螺纹(15),所述外螺纹(15)螺纹连接螺母(14)。
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