[实用新型]边缘自抛光游星轮有效
| 申请号： | 201721752817.X | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207915208U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 冯光建;夏秋良 | 申请（专利权）人： | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 周宇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供边缘自抛光游星轮，涉及半导体技术领域。涉及边缘自抛光游星轮，包括游星轮本体，所述游星轮本体上设置有开孔，在所述开孔的内壁上环绕设置有抛光材料，所述抛光材料内盛装有待抛光材料。采用本技术方案的边缘自抛光游星轮，能够对硅片或者硅件边缘进行抛光的游星轮，使硅片或者硅件能同时达到边缘和两面被抛光的目的，大大减少了这些产品加工的步骤和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 游星轮 自抛光 抛光材料 抛光 硅片 硅件 开孔 半导体技术领域 本实用新型 产品加工 环绕设置 内壁 盛装 | ||
【主权项】：
1.一种边缘自抛光游星轮，应用在双抛机中，其特征在于，包括游星轮本体，所述游星轮本体上设置有开孔，在所述开孔的内壁上环绕设置有抛光材料，所述抛光材料内盛装有待抛光材料。
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