[实用新型]一种检测平板清洁度及平整度的装置有效
| 申请号： | 201721736067.7 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207571049U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张冲;赵润川;李波;曾耀 | 申请（专利权）人： | 武汉中导光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头、分光棱镜、物镜、物镜外套、电源装置、暗场照明装置以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机与成像系统，所述中继镜头与分光棱镜的A端通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端与物镜通过物镜外套连接在一起，所述暗场照明装置与物镜外套连接在一起，所述暗场照明装置的外环上设置有安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述光源控制装置包括同轴光源、控制按钮以及照明镜组。解决了现有技术中存在着无法准确检测并且判断平板，尤其是PI膜工艺上存在的杂质或者凹凸点的技术缺陷。本实用新型可以检测平板清洁度及平整度的装置具有准确区分出平板上缺陷类型的性能，适合大量投产与生产生活中。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 暗场照明装置 清洁度 分光棱镜 平整度 光源控制装置 图像采集装置 本实用新型 中继镜头 安装孔 种检测 检测技术领域 成像系统 电源装置 技术缺陷 控制按钮 缺陷类型 同轴光源 照明镜组 准确检测 凹凸点 套接管 相机 检测 生产 | ||
【主权项】：
1.一种检测平板清洁度及平整度的装置，包括图像采集装置、中继镜头(3)、分光棱镜(5)、物镜(7)、物镜外套(12)、电源装置、暗场照明装置(8)以及光源控制装置，其特征在于，所述图像采集装置包括相机(1)与成像系统(2)，所述中继镜头(3)与分光棱镜(5)的A端(4)通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端(6)与物镜(7)通过物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)与物镜外套(12)连接在一起，所述暗场照明装置(8)的外环(11)上设置有安装孔，每个安装孔内都设置有LED灯，所述光源控制装置包括同轴光源(9)、控制按钮以及照明镜组(10)。
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