[实用新型]一种用于溅射镀膜的辅助气体供气系统有效
| 申请号： | 201721723909.5 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207619519U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 穆键;李金成 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 常晓虎 |
| 地址： | 200000 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于溅射镀膜的辅助气体供气系统，包括供气站、供气管路和气体分配模块，供气管路包括主管路和分支管路，主管路包括与供气站连接的氧气管路、氮气管路和氩气管路，每条主管路均连接有五条分支管，氧气管路的分支管、氮气管路的分支管以及氩气管路的分支管之间通过四通管连接，每个四通管上均连接有与气体分配模块连接的分配管路，气体分配模块包括五个分段供气单元，分段供气单元设置在溅射室内，并沿溅射室长度方向布置，由分段供气单元为溅射室供气，每个分段供气单元与一条分配管路连通，每条分支管上设有阀门。本实用新型可实现在溅射室内不同部位通入不同种类的辅助气体，并控制辅助气体的用量，改善双银玻璃和三银玻璃膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 分支管 辅助气体 供气单元 气体分配模块 分段 主管路 溅射 氮气管路 分配管路 供气管路 供气系统 溅射镀膜 氧气管路 氩气管路 供气站 四通管 室内 本实用新型 室长度方向 分支管路 三银玻璃 双银玻璃 溅射室 均匀性 阀门 膜层 连通 供气 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅射镀膜的辅助气体供气系统，其特征在于：包括供气站（1）、供气管路和气体分配模块，所述的供气管路包括主管路和分支管（12），主管路包括与供气站（1）连接的氧气管路（2）、氮气管路（3）和氩气管路（4），每条主管路均连接有五条分支管（12），氧气管路（2）的分支管（12）、氮气管路（3）的分支管（12）以及氩气管路（4）的分支管（12）之间通过四通管连接，每个四通管上均连接有与气体分配模块连接的分配管路，气体分配模块包括五个分段供气单元，分段供气单元设置在溅射室内，并沿溅射室长度方向布置，由分段供气单元为溅射室供气，每个分段供气单元与一条分配管路连通，每条分支管（12）上设有阀门，以控制所在分支管（12）的开闭以及气体流量。
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