[实用新型]一种精密超声等离子处理系统有效
| 申请号： | 201721704627.0 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207603977U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 卢春进 | 申请（专利权）人： | 达格测试设备(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 关家强 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多层线路板等离子处理领域，其公开了一种精密超声等离子处理系统，包括：壳体、壳体上部的反应腔、壳体下部的控制腔，所述反应腔设置有封闭门，所述控制腔设置有控制腔门，在靠近封闭门的反应腔壳体处设置有等离子控制单元和人机界面；在所述反应腔内设置有等离子电极板、导轨、承载机构固定块和冷却水管，所述等离子电极板正负电极交替排布，所述导轨和承载机构固定块设置于反应腔底部。通过上述方式，本实用新型能够解决目前线路板行业内等离子处理系统对电路板处理均匀性不好，效率不高等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 控制腔 本实用新型 超声等离子 承载机构 处理系统 封闭门 固定块 导轨 人机界面 精密 等离子处理系统 等离子电极板 等离子处理 等离子电极 等离子控制 电路板处理 多层线路板 线路板行业 交替排布 壳体上部 壳体下部 冷却水管 负电极 均匀性 壳体处 壳体 | ||
【主权项】：
1.一种精密超声等离子处理系统，其特征在于，包括：壳体、壳体上部的反应腔、壳体下部的控制腔，所述反应腔设置有封闭门，所述控制腔设置有控制腔门，在靠近封闭门的反应腔壳体处设置有等离子控制单元和人机界面；在所述反应腔内设置有等离子电极板、导轨、承载机构固定块和冷却水管，所述等离子电极板正负电极交替排布，所述导轨和承载机构固定块设置于反应腔底部；在所述控制腔内设置有电源、强电控制箱、真空泵系统和冷却水管，所述电源靠近冷却水管接口设置，所述强电控制箱内设置有：电源总开关、电源噪声滤波器、交流变频器和软启动器，所述真空泵系统包括罗茨泵和爪式干泵，所述真空泵系统连接至反应腔内。
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