[实用新型]柔性基底真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201721681092.X | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN207525334U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 孙红霞;周阳;江湖;胡超;舒毅;朱朋建;陈凡;潘登;龙巍 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;解立艳 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种柔性基底真空镀膜设备，包括连接在一起的真空镀膜腔室(1)和过渡腔室(2)，二者通过狭缝连通，还包括散热辊(3)，所述散热辊(3)通过张力调节装置(4)安装在所述过渡腔室(2)内；所述散热辊(3)包括辊体(5)和转轴(6)，所述辊体(5)固定安装在所述转轴(6)上，二者同轴设置；所述辊体(5)上设有若干个沿其轴向布置的散热通道(7)。本实用新型具有良好的散热功能，可以有效防止柔性基底褶皱。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基底 散热 辊体 真空镀膜设备 本实用新型 过渡腔室 转轴 褶皱 张力调节装置 真空镀膜腔室 散热功能 散热通道 同轴设置 轴向布置 狭缝 连通 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基底真空镀膜设备，包括连接在一起的真空镀膜腔室(1)和过渡腔室(2)，二者通过狭缝连通，其特征在于：还包括散热辊(3)，所述散热辊(3)通过张力调节装置(4)安装在所述过渡腔室(2)内；所述散热辊(3)包括辊体(5)和转轴(6)，所述辊体(5)固定安装在所述转轴(6)上，二者同轴设置；所述辊体(5)上设有若干个沿其轴向布置的散热通道(7)。
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