[实用新型]用于芯片性能测试的高精度检测设备

摘要

本实用新型公开一种用于芯片性能测试的高精度检测设备，其包括底座箱、安装于底座箱上表面的支架、测试载台、扫码装置和测试机构，所述测试载台安装于底座箱的盖板上表面，所述后侧板后表面具有用于驱动测试机构的气缸，所述2个连接块一端分别与推板两侧表面固定连接，所述测试头通过一安装块与活动板固定连接，所述调节板下表面设置有若干圆形安装孔，所述调节板上表面开有若干均匀设置的螺孔，所述测试载台上开有若干与调节板的螺孔对应的条状通孔，所述条状通孔开设方向与调节板的螺孔分布方向垂直，所述条形安装孔开设方向与圆形安装孔分布方向相同。本实用新型通过条形通孔与连接块的配合设置，起到良好的限位作用，使得测试机构的下压力稳定而精确，保证测试的准确性和测试精度。

主权项

1.一种用于芯片性能测试的高精度检测设备，其特征在于：包括底座箱（1）、安装于底座箱（1）上表面的支架（2）、测试载台（3）、扫码装置（4）和测试机构（5），所述测试载台（3）安装于底座箱（1）的盖板（101）上表面，所述测试机构（5）与支架（2）固定连接并位于测试载台（3）上方，所述底座箱（1）的盖板（101）上开有供扫码装置（4）嵌入的通孔（102），所述扫码装置（4）嵌入底座箱（1）盖板（101）的通孔（102）内并通过一安装架（7）与测试载台（3）下表面固定连接；所述支架（2）由左侧板（201）、右侧板（202）、梁板（203）和后侧板（204）组成，所述左侧板（201）、右侧板（202）分别设置于测试载台（3）上表面两侧，所述梁板（203）横跨于左侧板（201）、右侧板（202）之间并分别于左侧板（201）、右侧板（202）上表面固定，所述后侧板（204）横跨于左侧板（201）、右侧板（202）之间并分别与左侧板（201）、右侧板（202）后表面固定；所述后侧板（204）后表面具有用于驱动测试机构（5）的气缸（6），所述测试机构（5）进一步包括测试头（501）、活动板（502）、推板（503）和2个L形连接块（504），所述气缸（6）的活塞杆与推板（503）固定连接，所述活动板（502）通过滑块与后侧板（204）前表面的导轨活动连接，所述活动板（502）两侧的后侧板（204）上分别开有一供连接块（504）穿过的条形通孔（205），所述2个连接块（504）一端分别与推板（503）两侧表面固定连接，另一端分别穿过后侧板（204）的条形通孔（205）并与活动板（502）侧表面固定连接，所述测试头（501）通过一安装块（505）与活动板（502）固定连接；所述安装架（7）为U字形，所述扫码装置（4）嵌入安装架（7）的U型槽内并与安装架（7）固定连接，所述安装架（7）通过一调节板（8）与测试载台（3）连接，所述安装架（7）上开有一条形安装孔（701），所述调节板（8）下表面设置有若干圆形安装孔（801），所述调节板（8）上表面开有若干均匀设置的螺孔（802），所述测试载台（3）上开有若干与调节板（8）的螺孔（802）对应的条状通孔（305），所述条状通孔（305）开设方向与调节板（8）的螺孔（802）分布方向垂直，所述条形安装孔（701）开设方向与圆形安装孔（801）分布方向相同。