[实用新型]一种深紫外探测器的测试装置有效
| 申请号： | 201721662327.0 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN207528340U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金忠芳;陈庆文 | 申请（专利权）人： | 北京华德恒业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人： | 何自刚 |
| 地址： | 101407 北京市昌平区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种深紫外探测器的测试装置,包括具有开口端的测试腔，开口端设置有可开合的端盖，测试腔底部依次间隔设置有深紫外光源和测试台，深紫外光源电连接有外部控制箱，测试台上设置有深紫外探测器，深紫外光源和测试台之间依次间隔设置有第一凸透镜、第二凸透镜和第三凸透镜，深紫外光源发出的光线依次经过第一凸透镜、第二凸透镜、第三凸透镜照射至深紫外探测器的探测端面上；测试腔内还设置有热成像仪和可见光探测器，热成像仪和可见光探测器分别电连接外部控制箱。基于上述装置，部件少结构简单，制造成本低，能够有效对探测器的灵敏度进行测试，从而获得测试数据，便于提高研发的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 凸透镜 深紫外探测器 深紫外光源 测试腔 可见光探测器 外部控制箱 测试装置 间隔设置 热成像仪 测试台 电连接 本实用新型 测试 测试数据 制造成本 开口端 可开合 灵敏度 探测端 探测器 端盖 研发 照射 开口 | ||
【主权项】：
1.一种深紫外探测器的测试装置,包括具有开口端的测试腔(1)，所述开口端设置有可开合的端盖(2)，其特征在于，所述测试腔(1)底部依次间隔设置有深紫外光源(11)和测试台(5)，所述深紫外光源(11)电连接有外部控制箱(4)，所述测试台(5)上设置有深紫外探测器(6)，所述深紫外光源(11)和所述测试台(5)之间依次间隔设置有第一凸透镜(10)、第二凸透镜(8)和第三凸透镜(7)，所述深紫外光源(11)发出的光线依次经过所述第一凸透镜(10)、所述第二凸透镜(8)、所述第三凸透镜(7)照射至所述深紫外探测器(6)的探测端面上；所述测试腔(1)内还设置有热成像仪(3)和可见光探测器(9)，所述热成像仪(3)和所述可见光探测器(9)分别电连接所述外部控制箱(4)。
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