[实用新型]一种VGF磷化铟单晶锭脱锅的装置有效
| 申请号： | 201721639394.0 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN207512304U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 朱建华 | 申请（专利权）人： | 广东天鼎思科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 512000 广东省韶关市浈*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种VGF磷化铟单晶锭脱锅的装置，包括压力容器、上盖、支架、栅型硅胶垫以及PBN坩埚硅胶套；压力容器为上端开口的结构，其侧壁设有蒸汽输入口，蒸汽输入口上设有蒸汽阀，其底部设有排水口，排水口上设有排水阀；上盖可拆卸地安装在压力容器上，并与压力容器围成密闭空间；支架设置在压力容器内部，栅型硅胶垫放置在支架上，PBN坩埚硅胶套可拆卸地放置在栅型硅胶垫上。本实用新型利用饱和水蒸汽紊乱热运动水分子充分冲刷洗涤磷化铟单晶锭与PBN坩埚的周圈间隙及晶锭尾部的氧化硼层，快速溶解氧化硼形成溶于水的硼酸，最终使磷化铟单晶锭与PBN坩埚分离而脱锅。 | ||
| 搜索关键词： | 压力容器 磷化铟单晶锭 硅胶垫 栅型 本实用新型 蒸汽输入口 硅胶套 可拆卸 排水口 上盖 支架 硼酸 饱和水蒸汽 快速溶解 密闭空间 上端开口 氧化硼层 支架设置 周圈间隙 排水阀 氧化硼 运动水 蒸汽阀 侧壁 晶锭 冲刷 紊乱 洗涤 | ||
【主权项】：
1.一种VGF磷化铟单晶锭脱锅的装置，其特征在于：包括压力容器、上盖、支架、栅型硅胶垫以及PBN坩埚硅胶套；压力容器为上端开口的结构，其侧壁设有蒸汽输入口，蒸汽输入口上设有蒸汽阀，其底部设有排水口，排水口上设有排水阀；上盖可拆卸地安装在压力容器上，并与压力容器围成密闭空间；支架设置在压力容器内部，栅型硅胶垫放置在支架上，PBN坩埚硅胶套可拆卸地放置在栅型硅胶垫上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东天鼎思科新材料有限公司，未经广东天鼎思科新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721639394.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电解退镀回收稀贵金属用的异形阴极
- 下一篇：用于单晶炉的二次投料装置
