[实用新型]用于化学机械研磨装置的载体头的卡圈及具备其的载体头和化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201721606767.4 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN207593526U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 孙准皓 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于化学机械研磨装置的载体头的卡圈及具备其的载体头和化学机械研磨装置，卡圈包括卡圈主体、贯通槽、第一延长槽，贯通槽贯通形成于卡圈主体的底面，第一延长槽与贯通槽连通，向上部方向延长形成于卡圈主体的内周面,据此，可以获得有效地去除流入至卡圈的内面的研磨液的有利效果。 | ||
| 搜索关键词： | 化学机械研磨装置 载体头 卡圈主体 贯通槽 延长槽 卡圈 本实用新型 内周面 研磨液 有效地 底面 去除 连通 贯通 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械研磨装置的载体头的卡圈，卡圈安装于载体头，从而对晶元进行束缚，以防止晶元脱离，载体头在化学机械研磨工艺中用于将晶元加压于研磨垫，所述用于化学机械研磨装置的载体头的卡圈的特征在于，包括：卡圈主体；贯通槽，其贯通形成于所述卡圈主体的底面；第一延长槽，其与所述贯通槽连通，并在所述卡圈主体的内周面向上部方向延长形成。
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