[实用新型]一种微加热器及气体传感器

摘要

本实用新型提供了一种微加热器，涉及微机电系统领域。微加热器包括基底、支撑层、加热层、绝缘膜、加热电极焊盘和信号检测电极。基底位于最底层。支撑层设置于所述基底上。加热层设置于支撑层上，加热层包括加热电阻和至少两条用于支撑加热电阻的支撑悬臂。绝缘膜设置于支撑层远离基底的一侧，绝缘膜覆盖于加热层和支撑层上方，并覆盖加热层的侧面。加热电极焊盘设置于绝缘膜上方，与加热电阻相连。信号检测电极设置于绝缘膜上方。基底中与加热电阻所在位置对应的区域为贯穿基底的中空区域。本实用新型的微加热器同时使用悬膜和悬梁技术，提高微加热器的机械稳定性，采用悬空结构，可以提高微加热器的能效，延长微加热器的使用寿命。

主权项

1.一种微加热器，用于气体传感器，其特征在于，包括：用于提供支撑基础的基底；设置于所述基底上的支撑层；设置于所述支撑层上的加热层，所述加热层包括加热电阻和至少两条用于支撑所述加热电阻的支撑悬臂；绝缘膜，设置于所述支撑层远离所述基底的一侧，所述绝缘膜覆盖于所述加热层和所述支撑层上方；加热电极焊盘，设置于所述绝缘膜上方，并与所述加热电阻相连；信号检测电极，设置于所述绝缘膜上方，其包括导电电极及两个信号检测电极焊盘，所述信号检测电极与所述加热电阻之间为所述绝缘膜；其中，所述基底的与所述加热电阻相对应的区域为中空区域，所述中空区域构造成沿上下方向贯穿所述基底。